測厚儀采用電容式測量方法對硅片厚度進(jìn)行精密測量。為保證系統(tǒng)測量的精*性,測試臺采用上下雙傳感器探頭進(jìn)行推拉式測量,該測量方法對設(shè)備測量平臺的平直度沒有任何要求,保證在硅片靜止、左右移動(dòng)、上下移動(dòng)時(shí)均能精準(zhǔn)測量。主機(jī)部分利用強(qiáng)大的控制軟件對采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行精*計(jì)算和分析。
主要特點(diǎn):
非接觸測量,避免對硅片造成損傷。
采用高精密的電容探頭,保證測量數(shù)據(jù)的精*性。
采用高性能采集卡保證數(shù)據(jù)采集的準(zhǔn)確及穩(wěn)定性。
采用高性能主機(jī)配以強(qiáng)大的控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行精*計(jì)算和分析。
主要參數(shù):
厚度范圍:100~1600μm
厚度分辨率:0.1μm
厚度重復(fù)度:≤ 1μm
TTV范圍:0.00μm~300.00μm
TTV分辨率:0.1μm
TTV重復(fù)度:≤ 1μm
設(shè)備尺寸:360*300*75mm
使用環(huán)境溫度:10℃ 至 50℃
存儲環(huán)境溫度:-10℃ 至 75℃
電源電壓:220v
硅片規(guī)格:
方片:125x125mm、156x156mm ,圓片:3″、4″、5″、6″、8″
配置:測量主機(jī)、厚度測量軟件、厚度標(biāo)準(zhǔn)樣片
XCB-300尺寸變化率測定儀產(chǎn)品簡介:
尺寸變化率測定儀主要用于各種塑料管材、管件、片材、異型材的高溫老化試驗(yàn)和進(jìn)行加熱后狀態(tài)的檢驗(yàn)及尺寸變化率的測定;恒溫箱用旁熱式強(qiáng)制熱風(fēng)循環(huán)加熱,鼓風(fēng)系統(tǒng)采用多葉片式離風(fēng)心機(jī),具有風(fēng)量大、噪聲低,工作室溫度均勻,溫場穩(wěn)定,以及避免熱源直接輻射等特點(diǎn)。箱門與工作室之間設(shè)有一玻璃門,供觀察工作室情況之用。箱頂部設(shè)有一可調(diào)試排氣閥,其開啟度可調(diào)。該儀器采用單板片控制,LED數(shù)字顯示試驗(yàn)溫度和試驗(yàn)時(shí)間,溫度波動(dòng)小,具有超溫保護(hù)功能,并且絕緣性能好,是一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、數(shù)據(jù)可靠的檢測儀器。
技術(shù)參數(shù):
恒溫溫度:室溫~250℃
溫度波動(dòng)度:±2℃
溫度均勻度:±2.5%
測長范圍:0~300mm
鼓風(fēng)機(jī)功率:40W
加熱功率:2.2KW(A型) 2.8KW(B型) 5.6KW(C型)
電源:AC220V-15%~AC220V+10% 50Hz(單相三線制)
工作室尺寸:350mm×450mm×450mm(A型)
50mm×550mm×550mm (B型)
500mm×600mm×750mm(C型)
環(huán)境溫度:5~40℃,相對濕度不大于85